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 請教Dasha老大，關於ISO 21360真空檢測		  發表新標題  回覆本標題
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Aternis
新手上路

Taiwan
184 Posts
Posted - 07/11/2011 :  12:05:27  會員資料  Click to see Aternis's MSN Messenger address  Send Aternis a Yahoo! Message Send Aternis a Private Message  引言回覆
小弟今年基於職務需求，得著手投入真空技術的研究，

初期目標將以Vacuum pump的抽氣效率檢測為主。

自己透過圖書館及網路加上合作廠商提供的資料來整合外，


在考慮是否要購入一份ISO的官方21360技術文件，

如果依照簡介來看，裡面應有提供真空抽氣檢測的"標準方法"，

因為我對ISO組織不熟，也不清楚他們官方的技術文件，

在知識上能支援到什麼程度。


這部份真的需要對該領域或有研究的前輩幫忙指點大略方向，

或說，推薦實用的書籍及學習管道，小弟在此感激不盡了 T_T


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是說，這世界上處處是錢坑，包含你自己在內。

Aternis
新手上路

Taiwan
184 Posts
Posted - 07/11/2011 :  15:54:48  會員資料  Click to see Aternis's MSN Messenger address  Send Aternis a Yahoo! Message Send Aternis a Private Message  引言回覆
以我自己跟部門討論出來的作法之一是:

以一個密封腔體連接真空幫浦，依照阻抗值把管徑定在5~10mm之間，

並在腔體及幫浦端各安上相應單位的感壓式真空計，

開始粗抽，並紀錄每段時間腔體內的負壓，直到腔體被抽至該Pump的極限值。

所得到的數值以時間及托爾單位畫成曲線圖，

再把它拿來跟pump原廠所提供性能曲線對照。


這是比較土法煉鋼的辦法，除了在管路中的Volume rate無法測得外，

腔體本身的漏氣或pump運轉不穩都可能影響數據。

說穿了不是很精準的作法...

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dasha
版主

42836 Posts
Posted - 07/12/2011 :  09:56:29  會員資料 Send dasha a Private Message  引言回覆
這玩意小弟也不知道,有誰做過類似的事情嗎?
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小毛
我是老鳥

Taiwan
12542 Posts
Posted - 07/12/2011 :  10:08:23  會員資料  Visit 小毛's Homepage Send 小毛 a Private Message  引言回覆
請愛用關鍵字： ISO 21360 download
大陸版的相關文件
http://www.kukai.cc/wendang/wenxian/44248.html

台灣的部分
http://www.itrc.narl.org.tw/Publication/Newsletter/no104/p08.php

** 小毛的新幻想空間逐漸復活中.....**
http://lordmrx.pixnet.net/blog
歡迎參觀
Edited by - 小毛 on 07/12/2011 10:38:58
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Aternis
新手上路

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184 Posts
Posted - 07/12/2011 :  11:21:48  會員資料  Click to see Aternis's MSN Messenger address  Send Aternis a Yahoo! Message Send Aternis a Private Message  引言回覆
quote:
Originally posted by 小毛

請愛用關鍵字： ISO 21360 download
大陸版的相關文件
http://www.kukai.cc/wendang/wenxian/44248.html

台灣的部分
http://www.itrc.narl.org.tw/Publication/Newsletter/no104/p08.php

** 小毛的新幻想空間逐漸復活中.....**
http://lordmrx.pixnet.net/blog
歡迎參觀


謝謝兩位的幫忙。

基本上後者Link中的系統，跟我們部門在FAB內所要搭起來的檢測系統，

沒有太多差異。只不過我們所要抽的腔體得在1300L以上

必須讓Dry pump及魯式有足夠的抽氣時間去檢測它們的效率跟穩定性。



該網頁小弟在上個禮拜也參考過。

主要的問題還是在於"ISO官方文件所提供的知識實用度"，

至於前者Link的文件，我打算也抓下來翻翻看。

我想乾脆就請購一份21360好了，多些文件參考也好。

台灣在真空技術這環節上比軍事圈還小眾，著墨極少，

但TFT跟CF等一卡車主力產業卻都用得到它......這種情況很鳥.....


後續的進度會再陸續補充上來。

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Aternis
新手上路

Taiwan
184 Posts
Posted - 08/04/2011 :  18:00:41  會員資料  Click to see Aternis's MSN Messenger address  Send Aternis a Yahoo! Message Send Aternis a Private Message  引言回覆
經過幾個禮拜的折衝及與合作廠商的有償技術指導不順，

勉強還是搞出了一套模式：

1.以一般大氣(透過廠務的Dry air管路)提供氣體來源

2.一個300L的腔體，用以模擬某廠的製程環境，但裡面用的是一般大氣而非純N2 (N2成本過高..)

3.上述兩者透過bellow管連接，並接上所要測試的真空Pump。

(實驗的主要目的便是"測驗Pump的抽氣效率及Pumping down的效能")

4.在腔體與pump間外接一組皮拉尼真空計 (用以測試內部真空度，必須符合該型Pump的原廠指定效能)

5.Pump本身的冷卻水管路由公司內的廠務外接，但N2來源尚在建構中


模擬用腔體+大氣來源+冷卻水管路+Pump本身+真空計+其它零件耗材(如真空油-O ring-NW制轉接頭)

初步構成一個檢測系統，用來對各種真空Pump進行試車。

如果上面的理級主管及某廠的技術總處沒有更動他們的決議....預計下禮拜開始嘗試實作...以上。

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偷兒
路人甲乙丙

3592 Posts
Posted - 08/04/2011 :  19:46:54  會員資料 Send 偷兒 a Private Message  引言回覆
n2為何成本高???
偷兒是吃米不知米價啦...
但就偷兒所知...純度較低的n2可透過空壓機和分子篩取得...
純度較高的要用它並(渦輪機)...
然後公司有個更省錢的方法...直接用槽車從某會失火的工廠載液氮來蒸發~~
聽說該廠區的氣體廠所作出的液氮是副產品~~~有人要高興的很!!!

當然...倘若說灌到鋼瓶裡...那就貴了~~~

另外...坊間加油站保養部和修車場...很多都自己作氮氣...
方法就是空壓機進分子篩~~~成本應該還好吧???

這不是動畫!!!這不是動畫!!!
你將會看到時光的眼�..
勝利者將會是誰呢???
KeRo KeRo KeRo KeRoKeRo KeRo~~~
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Aternis
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184 Posts
Posted - 08/04/2011 :  20:18:02  會員資料  Click to see Aternis's MSN Messenger address  Send Aternis a Yahoo! Message Send Aternis a Private Message  引言回覆
quote:
Originally posted by 偷兒

n2為何成本高???
偷兒是吃米不知米價啦...
但就偷兒所知...純度較低的n2可透過空壓機和分子篩取得...
純度較高的要用它並(渦輪機)...
然後公司有個更省錢的方法...直接用槽車從某會失火的工廠載液氮來蒸發~~
聽說該廠區的氣體廠所作出的液氮是副產品~~~有人要高興的很!!!

當然...倘若說灌到鋼瓶裡...那就貴了~~~

另外...坊間加油站保養部和修車場...很多都自己作氮氣...
方法就是空壓機進分子篩~~~成本應該還好吧???

這不是動畫!!!這不是動畫!!!
你將會看到時光的眼�..
勝利者將會是誰呢???
KeRo KeRo KeRo KeRoKeRo KeRo~~~


因為我們公司當前的本業是TFT的自動設備跟檢測設備供應。

半導體跟雷射及太陽能三代薄膜原本也是，但封印了...


三個無塵&潔淨廠的廠務架構上，供給的只有Dry air跟各相電源。

空壓及真空技術，是年初才開始搞的。


我們在氦氣跟氮氣來源上，目前的確是用鋼瓶...

因為這些不論是Dry或魯式甚至是多級式幫浦，

全部都是拿來用在蝕刻或黃光製程上，它們除了抽真空外還得抽製程物..

氮氣純度的要求很高 (99.5%)，一般的分子篩選或氮製機也不成。


反正有很多問題，但最大問題是卡在上面什麼都要Cost down，

卻又一直催著要初步結果。


他媽的我們公司又不是必須靠X美才能活，但他們硬是什麼都要只跟X美接洽，

現在他們某些廠準備在九月停工放無薪，幾乎看不到單了，

才想著要緊急轉型。


多少年下來弄到其他大廠不肯跟我們公司接洽，連國防部的單也早沒了。

很想說是被X美害掛的，但追究起來，連續兩個老總都是X美空降的，

能說什麼？

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Edited by - Aternis on 08/07/2011 15:47:04
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Aternis
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Posted - 08/04/2011 :  20:21:42  會員資料  Click to see Aternis's MSN Messenger address  Send Aternis a Yahoo! Message Send Aternis a Private Message  引言回覆
總之，感謝偷大的建議，我會從turbo上著手尋求管道看看。

這個禮拜休假，順便去找點相關的書，買回去給大家啃...

一切的搞法，根本都跟土法煉鋼一樣，專業的維護能量哪有那麼快建立起來....

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